Spectrométrie de Masse des Ions Secondaires (SIMS)
SIMS Cameca IMS4FE
Méthode d’analyse physico-chimique, élémentaire et moléculaire, de la surface et de la composition interne des matériaux solides supportant l’ultravide
- L’analyse de tous les éléments de la table périodique, y compris l’hydrogène.
- L’analyse de profils de concentration en profondeur (analyse quantitative avec standards).
- L’analyse de spectres de masse : l’intensité du signal détecté dans l’échantillon en fonction de la masse atomique.
- L’analyse d’images ioniques : Cartographie des éléments obtenue par balayage du faisceau d’analyse.